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潔凈工作臺(tái)的性能應(yīng)符合哪些規(guī)定?

2021-09-16 瀏覽次數(shù):289   

參數(shù)名稱

技術(shù)要求

單位

性能參數(shù)

掃描檢漏

大氣塵或人工塵

/L

≤3

DOP法檢漏,穿透率

%

≤0.01

引射作用

大氣塵或人工塵,下游離子濃度(≥0.5um

/L

≤10

DOP法檢漏,穿透率

%

≤0.01

平均風(fēng)速

單向流潔凈工作臺(tái)操作區(qū)平均風(fēng)速

m/s

0.20.5

不均勻度

風(fēng)速的相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差

%

≤20

進(jìn)風(fēng)風(fēng)速

進(jìn)風(fēng)口設(shè)在潔凈工作臺(tái)操作人員腿部的進(jìn)風(fēng)口平均風(fēng)速

m/s

≤1

風(fēng)量

非單向流潔凈工作臺(tái)的換氣次數(shù)

h-1

60120

非單向流潔凈工作臺(tái)額定風(fēng)量的波動(dòng)范圍

%

±20

空氣潔凈度

操作區(qū)的潔凈度級(jí)別

級(jí)

潔凈度5級(jí)(HEPA

優(yōu)于潔凈度5級(jí)(ULPA

沉降菌濃度

操作區(qū)臺(tái)面平均菌落數(shù)(只對(duì)用于生物潔凈用途的工作臺(tái)有此要求)

cfu/(皿.0.5h

≤0.5

噪聲

前壁板水平中心向外300mm,且高于地面1.1m處的整機(jī)噪聲

dB

≤65

照度

操作區(qū)臺(tái)面上的平均照度(無背景照明)

lx

≥300

振動(dòng)幅度

操作區(qū)臺(tái)面幾何中心的垂直凈振幅

um

≤5

氣流狀態(tài)

操作空間垂直氣流試驗(yàn)(垂直單向流潔凈工作臺(tái))

氣流流線應(yīng)垂直于臺(tái)面或出風(fēng)面,不得有死角和回流

操作空間水平氣流試驗(yàn)(水平單向流潔凈工作臺(tái))

氣流流線應(yīng)平行于臺(tái)面或出風(fēng)面,不得有死角和回流